Particle transport in technological plasmas
- Oberflächenprozessierung mittels Zerstäubungsplasmen findet breite Anwendung in der Abscheidung dünner Schichten. Vereinfacht dargestellt werden Atome aus einem Festkörperpräkursor herausgeschlagen und anschließend durch die Prozesskammer transportiert, bis sie auf eine Wand treffen und abgeschieden werden. Für eine präzise und verlässliche Vorhersage der intrinsischen, physikalischen Vorgänge, ist die Kenntnis über Dichten und Flüsse aller relevanten Teilchenspezies unerlässlich. Eine theoretische Vorhersage dieser Kenngrößen ist unmittelbar mit einer konsistenten Beschreibung des Teilchentransports verknüpft. Letztere gibt das Thema dieser Arbeit vor: Vorgestellt wird eine physikalisch konsistente Modellierung des Transports zerstäubten Metalls durch eine inerte Gasphase mittels kinetischer Ansätze. Die Monte Carlo Methode wird als ausgewählter statistischer Simulationsansatz vorgestellt und zur Beschreibung des Teilchentransports innerhalb diverser Zerstäubungsprozesse herangezogen.
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| Author: | Jan TrieschmannGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-53077 |
| Referee: | Thomas MussenbrockORCiDGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2017/07/10 |
| Date of first Publication: | 2017/07/10 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2017/05/18 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Tag: | Beschichten |
| GND-Keyword: | Simulation; Entladung; Sputtern; Kinetische Theorie; Abscheidung |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
