- AutorIn
- Michael Böhme
- Titel
- Entwurf eines Prozesssteuermoduls zur Atomlagenabscheidung
- Alternativtitel
- Design of a process controller for atomic layer deposition
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:swb:ch1-200501919
- Abstract (DE)
- Die Studienarbeit beschäftigt sich mit dem Entwurf eines PC-gestützten Prozesssteuermoduls für eine Atomlagenabscheideanlage. Der erste Teil der Arbeit beschäftigt sich mit der Übergangslösung, einem 4-stelligen Abwärtszähler an der alten Prozesssteuereinheit. Im zweiten Teil wird die Neuentwicklung dargestellt, von der Spezifikation über den Schaltungsentwurf bis zur Programmierung der Software.
- Abstract (EN)
- This student research project is about a PC-based process controller designed for an atomic layer deposition equipment. The first part of the document describes the temporary solution, a 4-digit down counter connected to the old process controller. The second part presents the newly developed controller: the specification, circuit design and software programming.
- Freie Schlagwörter
- Anlagensteuerung
- Klassifikation (DDC)
- 600
- Normschlagwörter (GND)
- Computer
- Elektronische Schaltung
- Programmierbare Steuerung
- Schnittstelle / Schaltung
- Wissenschaftlich-technische Software
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:swb:ch1-200501919
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 17.12.2005
- Dokumenttyp
- Studienarbeit
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch