Mit Hilfe der Laser-SNMS in Verbindung mit Flugzeit-Massenspektrometrie wird die Bildung neutraler Cluster beim Beschuß einer Silberoberfläche mit polyatomaren Ag m -Clustern (m = 1, 2, 3) untersucht. Die Primärteilchen mit einer kinetischen Energie von bis zu 21 keV liefert eine auf Laserablation basierende Clusterionenquelle. In Abhängigkeit von der Zerstäubungsausbeute (Y < 200) wird die relative Ag N-Clusterausbeute (n <= 9) ermittelt. Es zeigt sich nach einem drastischen Anstieg der Clusterbildung mit der Zerstäubungsausbeute (für Y < 40) ein Übergang zu annähernd konstanten relativen Clusterausbeuten.