Die Entwicklung immer kleinerer MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) - Sensoren mit funktionellen Oberflächen bietet die Möglichkeit, diagnostische und therapeutische Aufgaben im menschlichen Körper in Form von Implantaten zu übernehmen. Damit elektronische Bauteile eines Implantates vor Feuchtigkeit und das umgebende biologische Gewebe vor schädlichen Einflüssen der Elektronik geschützt werden können, sind medizinisch zugelassene mikroelektronische Implantate wie Hirnstimulatoren oder Cochlea Implantate in der Regel mit einer Verkapselung aus dickwandigen Materialschichten wie Titan oder Keramik versehen. Diese dickwandigen Verkapselungen limitieren jedoch die Miniaturisierung des Sensorimplantats und verhindern, dass sensitive Bereiche der Chipoberfläche für die Messgröße frei zugänglich sind. Die direkte Interaktion einer sensitiven Komponente mit der zu erfassenden Umgebung ist somit nicht möglich, obwohl gerade diese Eigenschaft für Biosensoren eine Funktionsvoraussetzung ist. Mikrosystemtechnische Drucksensor-ASICs (Application Specific Integrated Circuits) nutzen in der Regel unabhängig vom Messprinzip eine verformbare Membran um den vorliegenden Druck zu detektieren. Bei einer dickwandigen Einhausung muss somit gewährleistet werden, dass eine Druckänderung außerhalb des Gehäuses an den Sensor-ASIC im Inneren weitergegeben wird. In vielen industriellen Anwendungen wird hierfür eine dünne metallische Membran als Medientrennung und eine Ölfüllung des Gehäuses zur Druckübertragung genutzt. Speziell die Realisierung einer hinreichend großen Druckübertragungs¬membran ist für medizinische Implantate aufgrund der benötigten starken Miniaturisierung meist nicht zu realisieren. Das für diese Arbeit genutzte kapazitive Drucksensorsystem bestand aus zwei ASICs, welche für den Betrieb elektrisch miteinander verbunden sein mussten. Ein ASIC war der Drucksensor und der zweite ASIC diente zur Kommunikation und besaß neben einem Speicher für Kalibrationsdaten auch einen Temperatursensor. Da das Drucksensorsystem kabelgebunden war, wurde außerdem eine Durchführung hergestellt, um den hermetischen Sensoraufbau und die Leitungs-verbindung zu trennen. Ziel der Arbeit war ein Drucksensorsystem, welches durch eine sehr dünne Passivierungs-Schicht hermetisch dicht verkapselt ist. Es könnte somit direkt in einer korrosiven Umgebung, wie z.B. im menschlichen Körper arbeiten ohne dabei Schaden zu nehmen oder messtechnisch beeinflusst zu werden. Diese Passivierungsschicht musste dünn genug sein, damit die ursprünglichen Membraneigenschaften des ASICs nicht verändert wurden und trotzdem einen dauerhaften Schutz boten. Sie wurde außerdem nicht auf Einzel-Chips sondern auf Systemebene abgeschieden, da es aus zwei ASICs bestand. Bei der Auswahl eines geeigneten Verfahrens, um diese Schichten aufzubringen, war somit die Möglichkeit ein dreidimensionales Objekt zu passivieren elementar, da die gesamte Oberfläche des Sensorsystems geschützt werden musste. In dieser Arbeit wurde das Drucksensorsystem durch einen Atomic Layer Deposition (ALD) Schichtstapel aus 50 nm Aluminiumoxid (Al2O3) und 50 nm Tantalpentoxid (Ta2O5) verkapselt um eine durchgehende Passivierungsschicht auf der Oberfläche zu erhalten. Für die gewählte Abscheidung lag die Prozesstemperatur bei 275 °C. Die thermische Ausdehnung der genutzten Materialien musste daher aufeinander abgestimmt sein, um Risse in der Passivierung während des Abkühlprozesses zu verhindern. Für den Verguss und für die Montage der ASICs bzw. der Durchführung wurde ein Polyimid-Epoxy-Composite genutzt, welches die Prozesstemperaturen ohne Degradation überstand. Zur Vorbereitung der kritischen Bereiche der Bauelemente, wie Chipkanten bzw. Bonddrähte, wurden diese vor der ALD-Beschichtung ebenfalls mit dem Polyimid-Epoxy-Composite behandelt. Der entwickelte medienstabile Drucksensor wurde im Rahmen dieser Dissertation messtechnisch vollständig charakterisiert. Die Messungen wurden in physiologischer Kochsalzlösung (NaCl 0,9%) durchgeführt. Neben den Druckmessungen wurden auch Alterungstests in einer feuchten Umgebung durchgeführt. Diese Tests halfen, eine Prognose über die Haltbarkeit der Passivierung aufzustellen. Als eine erste Anwendung wurde das Sensorsystem genutzt, um den Quelldruck eines Hydrogels zu erfassen. Das Hydrogel diente als Messumformer (Transducer), welcher den äußeren Stimulus in einen Quelldruck umwandelt. Diese Quelldruckänderung wurde durch den medienstabilen Drucksensor detektiert. Das von einem Forschungspartner bereitgestellte Hydrogel reagiert sowohl bei Ionenkonzentrationsänderungen als auch bei Temperaturänderungen sensitiv. Im Rahmen der Dissertation wurden erfolgreich erste Messungen des medienstabilen Drucksensors im Hydrogel durchgeführt und es konnten Quelldruckänderungen bei beiden Stimuli erfasst werden. Als potentieller Bio- bzw. Chemosensor stand die Messung einer Ionenkonzentration im Fokus einer Machbarkeitsstudie, welche reproduzierbar durchgeführt werden konnte.