Picometer resolution heterodyne interferometry for short to medium term dimensional stability measurments

Einordnung

Konferenz:

Ilmenau Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau ; 58 (Ilmenau) : 2014.09.08-12

Verlag, Verleger(in):

GND

16003365-2

ilmedia

Erschienen in:

Shaping the Future by Engineering : Proceedings ; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau,…
Bd. 58, 2014 (08.12.2014), WS. 4.2

Band:

58, 2014

Datum der Erstellung:

08.12.2014

Datum der Veröffentlichung:

08.12.2014

PPN:

810898543

URN:

urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-148:8

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

11 Seiten

Erscheinungsort:

Ilmenau

Schlagwörter:

dimensional stability; picometer uncertainty; optical metrology; displacement interferometry

Klassifikation:

58. IWK (2014)

Klassifikation:

Klasse A

DDC-Sachgruppe der DNB:

620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Klassifikation:

für Harvesting bereitgestellt

Klassifikation:

Thüringer Pflichtexemplare

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau