Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS

Einordnung

Konferenz:

International Scientific Colloquium. Technische Universität Ilmenau, Faculty of Mechanical Engineering ; 56 (Ilmenau) : 2011.09.12-16

Verlag, Verleger(in):

GND

16003365-2

ilmedia

Erschienen in:

Innovation in Mechanical Engineering – Shaping the Future : proceedings ; 56. IWK 2011, 12 - 16 September 2011, Ilmenau,…
Bd. 56, 2011 (15.12.2011), Session 1.3

Band:

56, 2011

Datum der Erstellung:

15.12.2011

Datum der Veröffentlichung:

15.12.2011

PPN:

684105136

URN:

urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-098:5

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Umfang:

4 Seiten

Erscheinungsort:

Ilmenau

Klassifikation:

Klasse A

Klassifikation:

56. IWK (2011)

Klassifikation:

für Harvesting bereitgestellt

Klassifikation:

Thüringer Pflichtexemplare

DDC-Sachgruppe der DNB:

620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Einrichtung:

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau