Universeller Messaufbau zur ortsaufgelösten Charakterisierung von Dünnschichtinterferenzsystemen

The available work concerns itself with the constructional design and the testing of a universal measurement setup, which makes a localdissolved characterisation of thin film interference systems in connection with a multi-channel spectrophotometer possible. For the spectrophotometric investigation of such interference filters the fundamental physical mechanisms of the thin film optics are compiled, so that the measured values received with experimental testing are scientifically analyzable. It is dealt in detail with instrumentation as well as optical connections. At the end an estimate of the spectral and photometric accuracy of the used spectrophotometer is made.

Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit dem konstruktiven Entwurf und der Erprobung eines universellen Messaufbaus, welcher in Verbindung mit einem Mehrkanalspektralfotometer eine ortsaufgelöste Charakterisierung von Dünnschichtinterferenzsystemen ermöglicht. Für die spektralfotometrische Untersuchung solcher Interferenzfilter werden die grundlegenden physikalischen Zusammenhänge der Dünnschichtoptik erarbeitet, damit die bei der experimentellen Erprobung erhaltenen Messwerte wissenschaftlich analysierbar sind. Es wird detailiert auf messtechnische sowie optische Zusammenhänge eingegangen. Am Ende wird eine Einschätzung der spektralen und fotometrischen Genauigkeit des verwendeten Spektralfotometers vorgenommen.

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