Diese Arbeit beschäftigt sich mit dieser Methode und ersten Messungen an Probechips. Im Folgenden erläutert sie Funktionsprinzp, sowie das verwendete Chipdesign. Darauf hin werden die Entwicklung des verwendeten Messplatzes und erste Messergebnisse dargestellt. Abschließend findet sich ein kurzer Ausblick auf die nächste geplante Messaufgabe.
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