Die dargelegte Arbeit beschäftigt sich mit der Integration und Charakterisierung von Nanostrukturen z.B. Desoxyribonukleinsäure (DNA), Goldnanopartikeln (AuNP) oder Halbleiternanodrähten (NW) für sensorische Anwendungen. Dabei wird die Technik der Dielektrophorese (DEP) eingesetzt, um Nanostrukturen submikrometergenau zu positionieren, elektrisch zu kontaktieren und diese anschließend als Sensorelemente für optoelektronische oder chemoresistive Analytik einzusetzen. In diesem Kontext beschäftigt sich die vorliegende Arbeit auch mit den optischen Eigenschaften von Silizium- (SiNW) und Galliumarsenid-Nanodrähten (GaAsNW), und der chemischen Modifikation vergleichbarer NW. Insgesamt soll ein Beitrag geleistet werden den Weg für die zukünftige Anwendung dieser Nanostrukturen in der chemischen und biochemischen Sensorik zu ebenen.