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Fabrication and Characterization of Deep Mesa Echted "Anti"-dot Superlattices in GaAs-AlGaAs Heterostructures

URN zum Zitieren dieses Dokuments:
urn:nbn:de:bvb:355-epub-78623
DOI zum Zitieren dieses Dokuments:
10.5283/epub.7862
Weiss, Dieter ; Grambow, P. ; Klitzing, Klaus von ; Menschig, A. ; Weimann, G.
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Veröffentlichungsdatum dieses Volltextes: 05 Aug 2009 13:57


Zusammenfassung

By etching a periodic array of holes through a ;mobility two-dimensional electron gas we define high-a lateral, ``anti\'\'-dot-type superlattice with periods a=200 and a=300 nm, much smaller than the electron mean free path in the unpatterned material. The devices are fabricated using electron beam lithography and reactive ion etching techniques, and characterized by magnetotransport ...

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