Entwicklung einer neuartigen Metall-Kohlenstoff-Verbundbeschichtung - Einfluss der Prozessparameter auf die Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetron-Sputtern von Mo-W-C Schichten
- Für den Einsatz im Maschinen- und Fahrzeugbau soll eine neuartige Metall-Kohlenstoff-Verbundbeschichtung entwickelt werden, in der die positiven Eigenschaften der Komponenten Molybdän, Wolfram und Kohlenstoff hinsichtlich von Verschleiß- und Temperaturbeständigkeit kombiniert werden sollen. Das Schichtsystem Mo-W-C wird im Verfahren des reaktiven Magnetron-Sputterns hergestellt. In insgesamt 28Für den Einsatz im Maschinen- und Fahrzeugbau soll eine neuartige Metall-Kohlenstoff-Verbundbeschichtung entwickelt werden, in der die positiven Eigenschaften der Komponenten Molybdän, Wolfram und Kohlenstoff hinsichtlich von Verschleiß- und Temperaturbeständigkeit kombiniert werden sollen. Das Schichtsystem Mo-W-C wird im Verfahren des reaktiven Magnetron-Sputterns hergestellt. In insgesamt 28 Chargen werden systematisch die Prozessparameter Sputtergasfluss (Argon), Prozessgasfluss (C2H2), Kathodenleistungsverteilung (insgesamt konstant, variierte Aufteilung auf die zwei Metalltargets aus Mo und W), Bias-Spannung und Bias-Strom variiert. Anhand der Untersuchungen zu Zusammensetzung, Verschleißeigenschaften, Härte, E-Modul, Struktur und Haftung der Beschichtung mittels mechanischer, optischer und chemischer Prüfverfahren sollen die Einflüsse der Prozessparameter ermittelt werden. Durch vergleichendes Gegenüberstellen wird gezeigt, dass besonders gute Resultate hinsichtlich Härte, E-Modul und Haftung bei den niedrigsten eingestellten Werten für Bias-Spannung (100 V), Bias-Strom (2 A) und C2H2-Gasfluss (30 sccm) sowie dem höchsten eingestellten Argon-Gasfluss (55 sccm) erzielt werden. Gute Verschleißraten werden grundsätzlich bei einer Bias-Spannung von 200 V, einem Bias-Strom von 3 A und einem Argon-Gasfluss von 55 sccm erzielt. Die im Rahmen dieser Arbeit ermittelten Daten stellen die Grundlage für weitere Untersuchungen dar, die das Ziel verfolgen, eine ideale Parameterauswahl für das Schichtsystem Mo-W-C im reaktiven Magnetron-Sputterprozess zu entwickeln.…
Document Type: | Bachelor Thesis |
---|---|
Zitierlink: | https://opus.hs-offenburg.de/2396 | Bibliografische Angaben |
Title (German): | Entwicklung einer neuartigen Metall-Kohlenstoff-Verbundbeschichtung - Einfluss der Prozessparameter auf die Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetron-Sputtern von Mo-W-C Schichten |
Author: | Johanna Kleinn |
Advisor: | Dirk Velten, Marcus Günther |
Year of Publication: | 2017 |
Date of final exam: | 2017/12/05 |
Publishing Institution: | Hochschule Offenburg |
Granting Institution: | Hochschule Offenburg |
Contributing Corporation: | Robert Bosch GmbH |
Place of publication: | Offenburg |
Page Number: | 47, VIII |
URN: | https://urn:nbn:de:bsz:ofb1-opus4-23965 |
Language: | German | Inhaltliche Informationen |
Institutes: | Fakultät Maschinenbau und Verfahrenstechnik (M+V) |
Institutes: | Abschlussarbeiten / Bachelor-Studiengänge / ME |
DDC classes: | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften | Formale Angaben |
Open Access: | Open Access |
Licence (German): | Urheberrechtlich geschützt |
SWB-ID: | 1659186048 |