- Titel
- Abschlussbericht ESF Nachwuchsforschergruppe E-PISA
- Untertitel
- Energieautarke, drahtlose piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-732662
- Übersetzter Titel (EN)
- Final report: ESF Research Group E-PISA : Energy-self-sufficient, wireless piezoelectric MEMS sensors and actuators in mediacl technology and industry 4.0
- DOI
- https://doi.org/10.51382/2020.1
- Abstract (DE)
- Im ESF geförderten Projekt E-PISA sind verschiedene, hoch innovative, von der globalen Forschungslandschaft ausgezeichnete und gleichzeitig industrierelevante technische Entwicklungen im Bereich der Mikrosystemtechnik, Medizintechnik und Industrie 4.0 vorangetrieben worden. Fokus der technischen Entwicklung waren zum einen Grundlagenforschung und zum anderen Applikationen von Mikrosystemen auf Basis piezoelektrischer Dünnschichten mit Aluminiumnitrid und Elektronik mit Carbon-Nano-Tubes.
- Freie Schlagwörter (DE)
- MEMS, CNT-FETs, MOEMS, Industrie 4.0, Drucksensoren, Aln
- Freie Schlagwörter (EN)
- Medical Engineering, Wake-Up MEMS, Piezo-electric thin film
- Klassifikation (DDC)
- 620
- 530
- 330
- Normschlagwörter (GND)
- MEMS, Aluminiumnitrid, Drucksensor, Industrie 4.0, Mikrosystemtechnik, Medizintechnik
- HerausgeberIn
- M.Sc. Simon Böttger
- Dr. Julien Bucher
- M.Sc. David Kriebel
- M.Sc. Katja Meinel
- Dr. Dmytro Solonenko
- M.Sc. Martin Stiebing
- Dr. Chris Stöckel
- Publizierende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- Version / Begutachtungsstatus
- eingereichte Version / Preprint
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-732662
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 29.12.2020
- Dokumenttyp
- Forschungsbericht
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch
- Lizenz / Rechtehinweis
- CC BY 4.0
- Inhaltsverzeichnis
Liebe LeserInnen, 5 E-PISA Team 6 Innovative Applikationen 11 Innovative Technologien 13 Regionaler Bezug 15 Wissenstransfer in Zahlen 17 Piezoelektrisches Dünnschicht-Aluminiumnitrid für Mikrosysteme 19 Mikro-opto-elektro-mechanische Systeme 23 Acoustic Emission Sensoren 29 Drucksensoren für medizinische Katheter 33 Kristallwachstum 37 Innovationssysteme, Märkte und Forschungsnetzwerke 45 Zuverlässigkeit piezoelektrischer Schichtsysteme der Mikrotechnologie 51 Veröffentlichungen und Auszeichnungen 53 Zukunftsfähigkeit 61 Danksagung 63