- Titel
- Untersuchung der Energiedissipationsprozesse mikromechanischer Systeme
- Zitierfähige Url:
- https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-386949
- Übersetzter Titel (EN)
- Investigation of the energy dissipation processes of micromechanical systems
- Datum der Einreichung
- 16.12.2019
- Datum der Verteidigung
- 07.02.2020
- ISBN
- 978-3-96100-113-2
- Abstract (DE)
- Im Fokus dieser Arbeit stehen Dämpfungseffekte schwingfähiger Mikroelektromechanischer Systeme (MEMS), die nach dem kapazitiven Wirkprinzip arbeiten. Die verschiedenen Dissipationsprozesse und die zugehörigen analytischen Modelle sowie numerischen Berechnungsmöglichkeiten auf physikalischer Ebene werden vorgestellt und mit eigenen experimentellen Ergebnissen verglichen. Der Schwerpunkt liegt dabei auf der fluidischen Dämpfung im Kontinuum und bei leichter Verdünnung, was bei den meisten kapazitiven MEMS den dominierenden Verlusteffekt darstellt.
- Abstract (EN)
- This thesis focuses on damping effects of vibrational micro-electromechanical systems (MEMS) with capacitive working principle. The different dissipation processes and the associated analytical models as well as numerical calculation possibilities on a physical level are presented and compared to own experimental results. The main emphasis is on fluidic damping in the continuum regime and with slight rarefaction, which is the dominant loss effect in most capacitive MEMS.
- Freie Schlagwörter (DE)
- Squeeze-Film-Dämpfung, Slide-Film-Dämpfung, CFD, Einspannverluste, thermoelastische Dämpfung
- Freie Schlagwörter (EN)
- damping, dissipation, MEMS, squeeze-film-damping, slide-film-damping, anchor loss, thermoelastic damping
- Klassifikation (DDC)
- 600
- Normschlagwörter (GND)
- Dämpfung, Dissipation, MEMS
- GutachterIn
- Prof. Dr.-Ing. Jan Mehner
- Prof. Dr.-Ing. habil. Gerald Gerlach
- BetreuerIn Hochschule / Universität
- Prof. Dr.-Ing. habil. Jan Mehner
- Verlag
- Universitätsverlag Chemnitz, Chemnitz
- Den akademischen Grad verleihende / prüfende Institution
- Technische Universität Chemnitz, Chemnitz
- Version / Begutachtungsstatus
- publizierte Version / Verlagsversion
- URN Qucosa
- urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-386949
- Veröffentlichungsdatum Qucosa
- 04.09.2020
- Dokumenttyp
- Dissertation
- Sprache des Dokumentes
- Deutsch
- Lizenz / Rechtehinweis
CC BY 4.0- Inhaltsverzeichnis
1 Überblick 2 Grundlagen zur Beschreibung von Mikrosystemen 3 Herstellung und Charakterisierung 4 Fluidische Dämpfung 5 Weitere dissipative Effekte mikromechanischer Systeme 6 Zusammenfassung und Ausblick