Optische Verfahren zur Abstands- und Topografiebestimmung

Abstract

Berührungslose Verfahren zur Oberflächentopographie werden für den industriellen Einsatz gefordert. Optische Methoden zur 3-D-Meßtechnik haben in den letzten Jahren vermehrtes Interessse gefunden. Wesentlich dazu beigetragen haben die Entwicklungen auf den Gebieten der Laser, der Speicher und leistungsfähigen Rechner. Der Verarbeitung der Information des Sensors wird besondere Aufmerksamkeit geschenkt. Hybride Verfahren, die eine optische Vorverarbeitung mit anschließender digitaler Verarbeitung kombinieren, sind erstrebenswert. Zwischen Bereich und Auflösung sind Kompromisse zu machen. Optische Methoden eignen sich zur 3dimensionalen Messung und Fehlererkennung. Kohärente als auch mit inkohärentem Licht arbeitende Verfahren bieten sich an. Spezieller Schwerpunkt ist die hochgenaue 3-D-Meßtechnik. Auch werden Ergebnisse aus Arbeiten unseres Instituts vorgestellt.

Contactless 3-D-methods to measure distance and surface topography are very desirable for industrial applications. Optical methods for 3-D-measurements are excellent candidates for it. The reason is partly due to the development of the laser, the storage facilities of information and availability of powerful small computers. The processing of the information of the sensors is becoming more important. Hybrid methods, using optical processing followed by the digital image analysis are desirable. A compromise is mostly needed between resolution and range. Optical methods are also most appropriate for 3-D-measurements and defect analysis using coherent as well as incoherent light. In particular precision 3-D-measuring methods will be discussed. Some results of the work carried out at our Institute will be presented.