Bitte benutzen Sie diese Referenz, um auf diese Ressource zu verweisen:
doi:10.22028/D291-24567 | Titel: | SiO2-Glassschichten auf Si-Wafern für optische Komponenten |
| VerfasserIn: | Mennig, Martin Gier, Andreas Berni, Anette Schmidt, Helmut K. |
| Sprache: | Deutsch |
| Erscheinungsjahr: | 1997 |
| Quelle: | Kurzreferate / 71. Glastechnische Tagung, Bayreuth vom 26. bis 28. Mai 1997 / Deutsche Glastechnische Gesellschaft e.V. - Frankfurt/Main, 1997, S. 93-96 |
| Kontrollierte Schlagwörter: | Wafer Glas |
| DDC-Sachgruppe: | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Dokumenttyp: | Konferenzbeitrag (in einem Konferenzband / InProceedings erschienener Beitrag) |
| Abstract: | - |
| Link zu diesem Datensatz: | urn:nbn:de:bsz:291-scidok-28749 hdl:20.500.11880/24623 http://dx.doi.org/10.22028/D291-24567 |
| Datum des Eintrags: | 14-Mai-2010 |
| Fakultät: | SE - Sonstige Einrichtungen |
| Fachrichtung: | SE - INM Leibniz-Institut für Neue Materialien |
| Sammlung: | INM SciDok - Der Wissenschaftsserver der Universität des Saarlandes |
Dateien zu diesem Datensatz:
| Datei | Beschreibung | Größe | Format | |
|---|---|---|---|---|
| sm199745.pdf | 1,29 MB | Adobe PDF | Öffnen/Anzeigen |
Alle Ressourcen in diesem Repository sind urheberrechtlich geschützt.