New materials by the sol-gel process and their potential for microelectronic application

Abstract

Der Sol-Prozess ermöglicht die Herstellung von kermaischen Werkstoffen, Gläsern und anorganisch-organischen Polymeren mit besonderen Eigenschaften (zum Beispiel Reinheit, Homogenität). Aufgrund der speziellen Reaktionsführung lassen sich flüssige oder gelöste Phasen als Zwischenstufen herstellen, deren Viskosität beschichtungstechnischen Problemen angepasst werden kann (z.B. spin-on coating, tape casting). Für den Bereich der Mikroelektronik ergibt sich ein interessantes Potential an Werkstoffentwicklungen, dessen volle Breite erst die zukünftigen Entwicklungen zeigen müssen. Einsatzfelder werden gesehen für Substratmaterialien, photostrukturierbare Materialien, Passivierungs- und Verpackungssysteme, Sensoren bzw. andere aktive Komponenten.