KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)

Achenbach, Sven; Pantenburg, F. J.; Mohr, Jürgen


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/5522000
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA55220005
KITopen-ID: 5522000
Reportnummer: FZKA-6576
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 2000. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6576.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 14.7.2000 von Sven Achenbach.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 14.7.2000
Externe Relationen Abstract/Volltext
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page