Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch Ionenimplantation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA549957 KITopen-ID: 54995 Reportnummer: FZKA-5644 |
| HGF-Programm | 34.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5644 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 6.7.1995 |