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Miniaturisierte fluidische Strahlelemente in LIGA-Technik mit integrierter elektrischer Steuerung

Vollmer, Josef; Hein, H.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/42494
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA424945
KITopen-ID: 42494
Reportnummer: KFK-5375
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Serie KfK-Berichte ; 5375
Art der Arbeit Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 29.4.1994
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