KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Fertigung einer Bedampfungsmaske durch Mikrobohren und Nutzung des Elektropolierens zur Gratentfernung

Gietzelt, T. ORCID iD icon; Eichhorn, L.; Guttmann, M.


Postprint §
DOI: 10.5445/IR/150081106
Veröffentlicht am 18.05.2018
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-87480-259-8
urn:nbn:de:swb:90-AAA1500811065
KITopen-ID: 150081106
HGF-Programm 43.13.03 (POF II, LK 01) Micro chemical engineering
Seiten 338-47
Erscheinungsvermerk Suchentrunk, R. [Hrsg.] Jahrbuch Oberflächentechnik Bad Saulgau : Eugen G. Leuze Verlag Bd.66 (2010)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page