In situ and real-time monitoring of structure formation during non-reactive sputter deposition of lanthanum and reactive sputter deposition of lanthanum nitride
Krause, Bärbel
1; Kuznetsov, Dmitry S.; Yakshin, Andrey E.; Ibrahimkutty, Shyjumon; Baumbach, Tilo 1,2; Bijkerk, Fred
1 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Kuznetsov, Dmitry S.; Yakshin, Andrey E.; Ibrahimkutty, Shyjumon; Baumbach, Tilo 1,2; Bijkerk, Fred1 Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) Laboratorium für Applikationen der Synchrotronstrahlung (LAS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 08.2018 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1600-5767 urn:nbn:de:swb:90-841557 KITopen-ID: 1000084155 |
| HGF-Programm | 56.03.20 (POF III, LK 01) Nanoscience a.Material f.Inform.Technol. |
| Erschienen in | Journal of applied crystallography |
| Verlag | International Union of Crystallography |
| Band | 51 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 1013-1020 |
| Vorab online veröffentlicht am | 28.06.2018 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |