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Void-mediated coherency-strain relaxation and impediment of cubic-to-hexagonal transformation in epitaxial metastable metal/semiconductor TiN/Al0.72Sc0.28N multilayers

Garbrecht, Magnus; Fawey, Mohammed H.; Sands, Timothy D.; Hultman, Lars; Saha, Bivas


Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000075925
Veröffentlicht am 14.11.2017
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1103/PhysRevMaterials.1.033402
Dimensions
Zitationen: 11
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2017
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2475-9953
urn:nbn:de:swb:90-759259
KITopen-ID: 1000075925
HGF-Programm 43.22.02 (POF III, LK 01) Nanocatalysis
Erschienen in Physical review materials
Verlag American Physical Society (APS)
Band 1
Heft 3
Seiten 033402–033402
Nachgewiesen in Dimensions
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