Charakterisierung der Prozessgüte und Verbesserung der Herstellung periodischer Strukturen mit dem LIGA-Verfahren - Herstellung von Gitterstrukturen für die gitterbasierte multimodale Röntgenbildgebung mit Aspektverhältnis 100 und mehr bei hohen Schichtdicken
Abstract:
Die Herstellung periodischer Strukturen mit höchsten Aspektverhältnissen kann den Anwendungsbereich der multimodalen Röntgenbildgebung erweitern. Die vorliegende Arbeit zeigt Wege auf um bestehende Begrenzungen des Aspektverhältnisses die sich aus der lithographischen Strukturdefinition ergeben zu umgehen.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 2016 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-589280 KITopen-ID: 1000058928 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | 27.07.2016 |
| Schlagwörter | LIGA, Lithography, X-Ray imaging |
| Referent/Betreuer | Kohl, M. |