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Funktionelle PVD-Viellagenschichten aus den Systemen Fe-Co-Hf-N, Ti-N und Ti-Al-N für die Hochfrequenz-Sensorik

Krüger, Kathrin

Abstract:

In dieser Arbeit wurden Verschleißschutzschichten mit integrierter Sensorfunktionalität zur berührungslosen Erfassung von Änderungen der Schichteigenschaften in Echtzeit mittels elektromagnetischer Wechselfelder entwickelt. Dazu wurden Viellagenschichten mit einstellbaren Eigenschaftsprofilen bestehend aus TiN Hartstoff- und ferromagnetischen FeCoHfN Funktionslagen hergestellt und die Sensorfunktionalität in Hinblick auf Dehnung, Temperaturänderung und Materialabtrag charakterisiert.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/1000047089
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-470893
KITopen-ID: 1000047089
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Verlag Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Prüfungsdaten 26.02.2015
Prüfungsdatum 26.02.2015
Referent/Betreuer Ulrich, S.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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