Deposition of Diamond-like Carbon Films by Liquid Electrochemical Technique
Diamond-like carbon (DLC) films are amorphous carbon films that can be produced with or without hydrogen, depending on the deposition techniques and conditions. Besides the conventional vapor deposition, DLC films can be deposited by liquid electrochemical technique that utilizes the electrolysis of organic solution. Liquid electrochemical deposition of DLC films has gained growing interest because of the simplicity of experimental setup, the scalability of the process, low process temperature and the possibility of deposition on substrates with complex shape.
Although some work has already been published, some important aspects are still missing. The aim of this dissertation is to investigate the influence of the experimental set-up and deposition parameters, as well as to evaluate possible technological applications of the process.
Diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) sind amorphe Kohlenstoffschichten, die abhängig von der Abscheidetechnik und den Abscheidebedingungen, sowohl mit als auch ohne Wasserstoff hergestellt werden können. Neben der konventionellen Gasphasenabscheidung können DLC Schichten auch mittels elektrochemischer Abscheidung aus der flüssigen Phase hergestellt werden. Unter der angelegten Spannung reagieren die organischen Moleküle und werden zu DLC-Schichten auf dem Substrat. Die elektrochemische Abscheidung von DLC Schichten gewinnt aufgrund der Einfachheit des experimentellen Aufbaus, der Skalierbarkeit des Prozesses, der niedrigen Prozesstemperatur und der Möglichkeit auch geometrisch komplexe Strukturen zu beschichten zunehmend an Interesse.
Obwohl bereits einige Arbeiten zu diesem Thema veröffentlicht wurden, fehlen noch entscheidende Aspekte. Das Ziel dieser Dissertation ist es daher, den Einfluss des experimentellen Aufbaus und der Abscheidebedingungen zu untersuchen und das technologische Potential des Verfahrens einzuschätzen.
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